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2 ヒトで2例のインジウムすず酸化物による肺線維症の症例報告がある。 44) , 45) インジウムすず酸化物は高いインジウム含量（インジウム74％、すず8％）を有するのでその観察された肺毒性の主な原因はおそらくインジウムによる。 45) 廃棄においては、関連ることが重要である。しかし、ito焼結体ターゲット を用いてdcマグネトロンスパッタリング法で形成さ れたito薄膜諸特性のsno 2 量依存性は、1987年に木村 等による報告6）以後、報告されていない。1987年当時 は、itoターゲットに用いられたito焼結体の密度は Ito 酸素欠損